利用飞秒激光直写技术结合化学机械抛光技术

制备超低损耗片上集成光学器件


用飞秒激光直写技术结合化学机械抛光技术,制备Q值超过107的微环谐振腔,以及长达11 cm、表面粗糙度为0.452 nm的片上铌酸锂光波导,损耗为0.027 dB/cm