利用飞秒激光直写结合化学机械抛光技术制备

高Q值铌酸锂微盘谐振腔。




利用飞秒激光直写结合化学机械抛光技术,制备Q值超过107的铌酸锂微盘谐振腔。


基于超高Q值铌酸锂微盘腔的实时电调光机械系统